射频(缩写为RF),又称无线电频率、无线射频、高周波,为在3kHz至300GHz这个范围内的震荡频率,相当于无线电波的频率,以及携带着无线电信号的交流电的频率。而射频电源,是可以产生固定频率的正弦波电压、频率在射频范围内、具有一定功率的电源,应用领域广阔,市场应用需求巨大。

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作为等离子体的配套电源,射频电源是由射频功率源、阻抗匹配器、阻抗功率计共同组成,市场最早是在上世纪八十年末期发展起步的,经过长时间的发展,现阶段我国射频电源在制作工艺上、产品质量上有着很大提升,主要应用于射频溅射、PECVD化学气相沉积、反应离子刻蚀等设备中,涉及到医疗、美容、无线通信、半导体工艺、消毒设备等多个领域。

根据新思界产业研究中心发布的《2021-2025年射频电源行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,近年来,随着下游市场的快速发展,特别是国内半导体、光伏设备行业规模的扩大,使得市场对射频电源的应用需求也随之增加,进而推动整个射频电源市场规模的增长。

就目前来看,我国射频电源技术与欧美部分发达国家相比仍存在着较大差距,产品种类也相对单一,且生产企业数量较少,使用的射频电源功率放大器多为传统的电子管,国外核心生产技术尚未完全掌握。因此,在未来,我国本土射频电源生产企业要追上并超越国外同类企业,还需要在生产技术和产品研发创新方面下功夫。

上海伊恩埃半导体科技股份有限公司是国内专业研发、生产、组装半导体级别射频发生器(RF Generator)、射频匹配器( RF Match)、射频组件的头部企业。坐落于上海松江经济技术开发区,拥8000多㎡独立研发生产中心,经过不懈努力,获得2022中国互联网发展创投大赛一等奖。

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研发团队2000年成立,23年间,上海伊恩埃半导体科技股份有限公司致力于“射频电源国产化”,目前已取得拥有40多项国家发明专利和PCT国际专利。

精研技术发展,打磨生产规划,上海伊恩埃半导体科技股份有限公司实现了研发、生产、工程相互赋能、协同发展,在业内拥有“专业化水平高、输出性能稳定”的赞誉,是半导体设备制造企业的核心零部件供应商。

上海伊恩埃半导体科技股份有限公司射频电源采用了先进的高效率高稳定性的射频技术。这种技术能有效地减少功率耗损,提高设备的寿命。

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产品特点

全数字控制

脉冲射频输出和节能

转换效率达到国际领先水平,环保节能

预防性故障报警,降低故障率

数据开放,客户自主矫正

拥有完善总线通讯设计,兼容主流工业通讯网络

标准化设计,降低产品的使用成本

科技感的外观设计,简约时尚

应用领域

可作为射频驱动等离子体系统的电源,应用对象包括ETCH刻蚀工艺、IMP离子注入、CVD化学相沉积、ASHER等离子去胶机、PVD物理气相沉积等。

未来,上海伊恩埃半导体科技股份有限公司也将继续在半导体行业发挥重要作用,为中国半导体产业的发展注入新的动力。

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